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低真空CVD系统

  • KTL-CVD-1400单温区CVD系统
KTL-CVD-1400单温区CVD系统

KTL-CVD-1400单温区CVD系统

  • 管径:60,80,100
  • 加热区:300mm
  • 温度:1400℃
  • 热电偶:S型
  • 产品描述:KTL-CVD-1400单温区CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
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KTL-CVD-1400单温区CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。


加热元件

(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。
(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。


KTL-CVD-1400单温区CVD系统以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用石英管口、、两端用不锈钢法兰密封,用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。


控制方式:采用宇电程序控温仪表(标配)可选配日本导电程序控温仪表


1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能


技术参数

控制精度:+/- 1 ℃
触发器:移相触发
电器:浙江正泰
可控硅:106/16E 德国西门康
最高温度:1400 ℃
额定温度:1350 ℃
升温速率:≤35 ℃/ Min (可根据要求修改)
推荐升温速率:≤15℃/ Min
热电偶型号:S型
加热段长度:300 mm


炉膛

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。


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